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ISO 14644-1:2015,根据粒子浓度划分空气洁净度等级

下载次数:1237 浏览次数:2081发布时间:2017-02-04 18:44
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文档详情

备注:当设备安装匹配完成,可用于持续或频繁监控空气洁净度(根据粒子浓度来分级)和其

他性能参数,分级的时间间隔可以延长,监控结果需保持在规定限度内。

5.2 测试

附录A(标准)给出了相符性认证的基准测试方法,也可以规定其它至少有可比性的替代方法

和/或仪器。如果没有就替代方法作出规定或达成一致意见,则应使用基准方法。

执行有关相符性认证的测试,应使用测试时符合校准要求的仪器。

5.3 尘埃粒子浓度评估

当根据附录A完成测试后,对于被考虑粒径的十进制中间等级,每个取样点的单次取样量的粒

子浓度(以每立方米粒子数量来表示)不可超过表格1或表格E.1给出的浓度限值。如果在某个

取样点多次获得单次取样量,其平均其浓度且平均浓度不可超过表格1或表格E.1给出的浓度限

值。中间粒子粒径来源于公式E.1。

必须使用相同方法来测量所有被考虑粒径的粒子浓度,以判定是否与ISO等级一致。

5.4 测试报告

各洁净室或洁净区的测试结果均应记录,应以综合报告形式提交,并说明是否符合有规定命名

的空气洁净度等级(以粒子浓度划分)。

测试报告应包含:

a) 测试组织的名称、地址和进行测试的日期;

b) ISO 14644本部分的出版编号和年代,例如ISO 14644-1:2015;

c) 明确标明被测洁净室或洁净区的实际位置(必要时包括临近的参照区)及所有取样点坐标

的具体标注(以图表方式表达或有帮助);

d) 洁净室或洁净区的规定命名准则,包括ISO等级序数、相关的占用状态和被考虑粒径;

e) 所使用测试方法的详细说明,包括与测试有关的或偏离测试方法的特殊条件,测试仪器铭

牌及其目前的校准证书;

f) 测试结果,包含所有取样点的粒子浓度数据。

如果大粒子浓度已按附录C里的说明进行了量化,相关信息应包含在测试报告中。


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